离子铣，也称为离子束刻蚀。是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理，它能对小尺度图形发生各向异性刻蚀。
离子铣有两个重要的长处：定向性和普适性。刻蚀的定向性是因为离子束中的离子是经过一个强笔直电场来加快的，反响室中的压力很低，因而原子间的磕碰几乎是彻底是不或许的，成果，当原子碰击晶圆片外表时其速度是近乎彻底笔直的。因为它是与化学特性无关的，因而对任何资料都可做各向异性刻蚀。
离子铣的第二个长处是它可拿来刻蚀各种不一样的资料，包含许多化合物和合金资料，即使它们没有恰当的挥发性刻蚀生成物。靶的刻蚀速率因为资料不同所引起的改变正常情况下不会超越三倍。
离子束最小直径约10nm，离子束刻蚀的结构最小或许不会小于10nm。聚集离子束刻蚀的束斑可达100nm以下，最少的到达10nm，取得最小线nm的加工成果。比较电子与固体相互作用，离子在固体中的散射效应较小，并能以较快的直写速度进行小于50nm的刻蚀，故而聚集离子束刻蚀是纳米加工的一种抱负办法。回来搜狐，检查更加多
